FilmTek 4500反射透射膜厚測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)要描述：Filmtek 4500反射和透射膜厚測(cè)量?jī)x利用新的多角度差分極化測(cè)量（MADP）技術(shù)與SCI patented的差分功率譜密度（DPDS）技術(shù)相結(jié)合，提供了一種在工業(yè)中具有佳的分辨率、準(zhǔn)確度和可重復(fù)性的光學(xué)薄膜計(jì)量工具。通過(guò)提供更高的精度和準(zhǔn)確度，F(xiàn)ilmTek 4500使后期集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的薄膜過(guò)程控制更加嚴(yán)格，從而提高了整個(gè)器件的產(chǎn)量。

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更新時(shí)間：2019-02-03
訪問(wèn) 量：343

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Measurement Features	FilmTek™ 4000 / 4500
Index of Refraction折射率 (at 2µm thickness)	±0.00002
Thickness Measurement Range 膜厚范圍	3nm-350µm
Maximum Spectral Range (nm) 大光譜范圍	190-1700nm
Standard Spectral Range (nm) 標(biāo)準(zhǔn)光譜范圍	380-1000nm
Reflection 反射	Yes
Transmission 透射	Yes(4500)
Spectroscopic Ellipsometry 橢圓光譜技術(shù)	No
Power Spectra Density 功率譜密度	Yes
Multi-angle Measurements 多角度測(cè)量(DPSD)	Yes
TE & TM Components of Index TE和TM成分指數(shù)	Yes
Multi-layer thickness 多層厚度	Yes
Index of Refraction 折射率	Yes
Extinction (absorption) Coefficient 消光(吸收)系數(shù)	Yes
Energy band gap 能帶隙	Yes
Composition 組成	Yes
Crystallinity 結(jié)晶度	Yes
Inhomogeneous Layers 非均勻?qū)?/span>	Yes
Surface Roughness 表面粗糙度	Yes

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